Pjezorezistīvs spiediena sensors
Pretestības deformācijas mērītājs ir viena no galvenajām pjezorezistīvā deformācijas sensora sastāvdaļām. Metāla pretestības deformācijas mērītāja darbības princips ir balstīts uz fenomenu, ka uz pamatnes adsorbētā tenzometra pretestība mainās līdz ar mehānisku deformāciju, ko parasti sauc par pretestības deformācijas efektu.
Keramikas spiediena sensors
Keramikas spiediena sensors ir balstīts uz pjezorezistīvo efektu. Spiediens iedarbojas tieši uz keramikas diafragmas priekšējo virsmu, izraisot nelielu deformāciju. Biezas-plēves rezistors ir uzdrukāts uz keramikas diafragmas aizmugurē, veidojot Vitstonas tiltu. Pateicoties pjezorezistīvā rezistora pjezorezistīvajai iedarbībai, tilts ģenerē ļoti lineāru sprieguma signālu, kas ir proporcionāls spiedienam un arī proporcionāls ierosmes spriegumam. Standarta signāli ir kalibrēti uz 2,0/3,0/3,3 mV/V utt. atkarībā no spiediena diapazona un ir saderīgi ar tenzometra sensoriem.
Izkliedētā silīcija spiediena sensors
Arī izkliedētā silīcija spiediena sensora darbības princips ir balstīts uz pjezorezistīvo efektu. Izmantojot šo principu, mērītās vides spiediens iedarbojas tieši uz sensora diafragmu (nerūsējošā tērauda vai keramikas), izraisot diafragmas mikro{1}nobīdi proporcionāli vidējam spiedienam. Tā rezultātā mainās sensora pretestība. Elektroniskā shēma nosaka šīs izmaiņas un izvada standarta mērījuma signālu, kas atbilst šim spiedienam.
Safīra spiediena sensors
Izmantojot deformācijas mērinstrumenta principu, šis sensors izmanto silīcija{0}}safīru kā pusvadītāju sensora elementu, kam piemīt nepārspējamas metroloģiskās īpašības. Tāpēc no silīcija-safīra izgatavotie pusvadītāju sensorie elementi ir nejutīgi pret temperatūras izmaiņām, un tiem ir izcilas darbības īpašības pat augstā temperatūrā; safīram ir spēcīga starojuma izturība; turklāt silīcija-safīra pusvadītāju jutīgajiem elementiem nav p-n novirzes.
Pjezoelektriskais spiediena sensors
Pjezoelektriskais efekts ir pjezoelektrisko sensoru galvenais darbības princips. Pjezoelektriskos sensorus nevar izmantot statiskiem mērījumiem, jo lādiņš pēc ārēja spēka pielikšanas tiek saglabāts tikai tad, ja ķēdei ir bezgalīga ieejas pretestība. Tā kā patiesībā tas tā nav, pjezoelektriskie sensori var izmērīt tikai dinamisko spriegumu.